Osram

Regensburg

Bei der Konzeption des neuen EPI-Zentrums brachte REHATEC nicht nur die ganze Kompetenzen-Bandbreite des eigenen Fachingenieurstabes ein, sondern überdies eine eigenständige Planungsspezialität: die Geräteanschlussinstallation „Hook-up“.

Beim Epitaxie-Prozess dienen gegen jegliche Außeneinwirkung empfindliche Geräte dem Abscheiden von Metallschichten, was unter Einsatz von diversen Sondergasen, chemischen Reaktionsmedien und teilweise im Vakuum geschieht.

Das Sicherstellen von konstanten Raumbedingungen in Verbindung mit der TGA sowie die Integration der prozesstechnischen Versorgungsstrukturen war planerisches Pflichtprogramm. Dem gegenüber erforderte die prozess-optimierte Integration der EPI-Systeme ein hohes Maß an spezifischem „Hook-up-Insiderwissen“.




PROJEKTDATEN:

Baumaßnahme: Halbleitertechnik: BAIII-EPI Zentrum
Bauherr: Osram, Regensburg
Gesamtkosten: 7,9 Mio. EUR


REHATEC: Technische Gebäudeausrüstung
Entwurf, Konzeptplanung, Ausführungsplanung, Fachbauleitung und
Projektmanagement, Planung der Grundversorgung mit Prozessmedien
und Geräteanschluss-Hook-up



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